Ozon ist ein sehr aggressives Gas, und nur wenige Materialien sind ozonbeständig. Es macht auch einen Unterschied, ob das Ozon gasförmig oder in Wasser gelöst ist. Nachstehend finden Sie eine Liste der Ozonbeständigkeit verschiedener Materialien. Die Tabelle geht von hohen Ozonkonzentrationen aus.
| Ozon gasförmig | Ozon in Wasser gelöst | |||
| Material | Beständigkeit | Material | Beständigkeit | |
| ABS | Gut | ABS | Befriedigend | |
| Acrylat (Plexiglas) | Gut | Acrylat (Plexiglas) | Perfekt | |
| Aluminium | Gut (trockenes Ozon) | Aluminium | Schlecht | |
| EPDM | Gut | EPDM | Befriedigend | |
| Verzinktes Eisen | Befriedigend | Verzinktes Eisen | Schlecht | |
| Gusseisen | Befriedigend | Gusseisen | Schlecht | |
| Glas | Perfekt | Glas | Perfekt | |
| Hastelloy-C ® | Perfekt | Hastelloy-C ® | Perfekt | |
| HDPE | Befriedigend | HDPE | Befriedigend | |
| LDPE | Schlecht | LDPE | Schlecht | |
| Monel | Schlecht | Monel | Schlecht | |
| Naturkautschuk | Schlecht | Naturkautschuk | Schlecht | |
| Nylon | Schlecht | Nylon | Schlecht | |
| Polykarbonat | Perfekt | Polykarbonat | Perfekt | |
| PTFE | Perfekt | PTFE | Perfekt | |
| PVC-C | Gut (wird mit der Zeit spröde) | PVC-C | Perfekt | |
| PVC-U | Gut (wird mit der Zeit spröde) | PVC-U | Perfekt | |
| PVDF | Perfekt | PVDF | Perfekt | |
| Rostfreier Stahl 304 | Perfekt | Rostfreier Stahl 304 | Perfekt | |
| Rostfreier Stahl 316 | Perfekt | Rostfreier Stahl 316 | Perfekt | |
| Silikon | Perfekt | Silikon | Perfekt | |
| Titan | Perfekt | Titan | Perfekt | |
| Viton | Perfekt | Viton | Perfekt | |
| Perfekt | Ozon greift diese Materialien nicht an. | |||
| Gut | Ozon greift diese Materialien in sehr begrenztem Umfang an (eine Exposition gegenüber sehr hohen Ozonkonzentrationen wird nicht empfohlen). | |||
| Befriedigend | Ozon greift diese Materialien innerhalb weniger Wochen an | |||
| Schlecht | Ozon greift diese Materialien sofort an (innerhalb von Tagen, machmal sogar Stunden) | |||
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